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2026/10/12Clics：1
En las pestañas semiconductores, los sistemas de detección de gas a menudo necesitan medir gases peligrosos a concentraciones muy bajas. Nivel PPB, el tubo de muestreo en sí puede convertirse en una parte importante del sistema de medición.
Para un proyecto de detección de gases de fab semiconductores, los gases necesarios fueron NH3, HF y HCl, con requisitos estrictos para la respuesta de detección y la variación de la concentración antes y después de la conexión del tubo.
Después de las pruebas de aplicación, CJan Fluid Tecnología Co., Ltd. proporcionadas Tubos de PFA fabricados con 231SH. El tubo pasó las pruebas de cumplimiento del cliente y cumplió los requisitos del proyecto.
La aplicación final es monitoreo ambiental de gas dentro de un semiconductor instalación de fabricación de wafer.
El sistema está diseñado para detectar:
El reto no es simplemente transportar estos gases desde el punto de muestreo al instrumento de detección. En concentraciones de PPB, la interacción entre el gas y el material de tubería puede afectar la concentración medida.
Por lo tanto, el cliente requiere específicamente un material de tubo con características de adsorción baja y rendimiento estable durante el muestreo de gas.
| Tema | Requisitos |
|---|---|
| Industria | Semiconductor |
| Aplicación | Wafer Fab Medio ambiente Detección de gas |
| Gases de destino | NH3 / HF / HCl |
| Concentración de referencia | 20 PPB |
| Requisitos de detección | ≥10 PPB en 20 minutos |
| Bomba | No hay bomba de muestreo adicional |
| Tasa de muestreo | Basado en el equipo de prueba |
| HF / HCl Diferencia Antes & Después de la Tubing | ≤0.1 PPB |
| Diferencia NH3 Antes ␟0 Después de la Tubing | ≤15 PPB |
| Requisito de Tubing principal | Baja adsorción |
| Material recomendado | PFA |
| Materias primas | 231SH importó resina PFA |
A concentraciones más altas de gas, una pequeña cantidad de interacción entre el gas y la pared del tubo puede tener un impacto relativamente limitado.
La detección del nivel de PPB es diferente.
Cuando la concentración del objetivo es sólo unas pocas PPB o decenas de PPB, incluso un pequeño cambio durante el muestreo puede ser significativo para la medición final.
Por esta razón, es necesario evaluar el tubo de muestreo de gas para:
Esto es particularmente importante para los gases como HF, HCl y NH3.
Basado en los requisitos del cliente, CJan recomendó Tubos de PFA fabricados con 231SH.
PFA es un fluoropolímero ampliamente utilizado en aplicaciones semiconductoras y de alta pureza debido a su resistencia química, limpieza y propiedades materiales estables.
Para este proyecto, la razón clave para seleccionar PFA fue su idoneidad para un aplicación de muestreo de gas de baja absorción, que fue verificada en las condiciones de prueba reales del cliente.
Para la detección de gas a nivel PPB, el tubo debe introducir el menor cambio posible al gas muestreado.
PFA ofrece una superficie relativamente baja de absorción en comparación con muchos materiales de tuberías de uso general, lo que lo convierte en un candidato adecuado para aplicaciones de muestreo de gas trazado.
Sin embargo, el comportamiento real de adsorción depende del gas, la concentración, la humedad, las dimensiones del tubo, la condición de la superficie, el caudal y el tiempo de exposición.
Es por eso que las pruebas de aplicación siguen siendo importantes.
HF y HCl son gases altamente corrosivos, mientras que NH3 también requiere compatibilidad material adecuada.
PFA tiene una excelente resistencia química y es ampliamente utilizado en sistemas semiconductores de manipulación química y fluidos de alta pureza.
Esto proporciona una base material adecuada para aplicaciones de muestreo de gas que involucran especies químicas agresivas.
El proyecto requiere un tubo adecuado para un ambiente semiconductor wafer fab.
Uso 231SH importado PFA materia prima proporciona una base de material controlada para el tubo utilizado en esta aplicación.
Para sistemas de monitoreo de gas semiconductores, la limpieza de materiales puede ser tan importante como la resistencia química.
En lugar de confiar sólo en las propiedades materiales teóricas, el tubo PFA fue probado bajo las condiciones específicas del cliente.
La prueba implica:
20 PPB HF / HCl / NH3
con el requisito de que el instrumento de detección alcance:
≥10 PPB en 20 minutos.
La prueba se realizó sin una bomba de extracción adicional, con la tasa de muestreo determinada por el equipo de pruebas.
El tubo también se evaluó comparando la concentración de gas antes y después de la conexión con el tubo.
Requisitos del cliente incluidos:
HF / HCl:
Diferencia antes y después de la conexión de tubos ≤0.1 PPB
NH3:
Diferencia antes y después de la conexión de tubo ≤15 PPB
El tubo PFA suministrado pasó las pruebas de cumplimiento del cliente y cumplió los criterios de aplicación requeridos.
Para la selección ordinaria de mangueras industriales, las tablas de compatibilidad de materiales a menudo pueden proporcionar un buen punto de partida.
Sin embargo, para la detección del gas a nivel PPB, la selección de materiales por sí sola puede no ser suficiente.
El resultado real también puede verse afectado por:
Por lo tanto, para aplicaciones de traza crítica, se recomienda probar la configuración completa de muestreo en condiciones de funcionamiento reales.
Este proyecto siguió ese enfoque: el tubo PFA fue seleccionado sobre la base de los requisitos de aplicación y luego verificado mediante pruebas reales.
Dependiendo del diseño específico de gas y sistema, se puede considerar el tubo PFA para:
Para cada aplicación, el rendimiento de compatibilidad y adsorción debe evaluarse de acuerdo con la composición del gas y las condiciones de muestreo.
Al seleccionar el tubo para un sistema de monitoreo de gas semiconductor, se deben considerar varios factores.
Confirme que el material de tubo es adecuado para el gas objetivo.
Para la detección del nivel PPB, la adsorción del tubo puede afectar el tiempo de concentración y respuesta medidos.
El tubo debe ser adecuado para los requisitos de limpieza del sistema de vigilancia.
La tasa de flujo afecta directamente el tiempo de residencia de gas dentro del tubo.
La tubería más larga o menor diámetro interno puede aumentar el tiempo de interacción entre el gas y la pared del tubo.
Para aplicaciones exigentes, la mejor manera de confirmar la idoneidad es probar el tubo bajo las condiciones de funcionamiento reales.
Este proyecto involucrados semiconductor wafer fab detección de gas ambiental, con NH3, HF y HCl como gases de destino.
El cliente necesita:
20 PPB concentración de objetivo → ≥10 detección de PPB en 20 minutos
y diferencias de concentración especificadas antes y después de la conexión de tubo de:
HF / HCl ≤0.1 PPB
NH3 ≤15 PPB
Sobre la base de los requisitos de aplicación, CJan Fluid Tecnología Co., Ltd. proporcionada:
El tubo pasó las pruebas de cumplimiento del cliente y cumplió los requisitos de la aplicación.
El proyecto demuestra un punto importante en el monitoreo de trazas: el tubo de muestreo debe ser tratado como parte del sistema de medición, no simplemente como un componente de conexión.
CJan Fluid Tecnología Co., Ltd. se especializa en soluciones de transferencia y conexión de fluidos para aplicaciones exigentes.
Nuestra gama de productos incluye:
CJan sirve a los clientes en:
Semiconductor ← Química Silencio Farmacéutica Silencio Lithium Battery ← Alimentos & Beverage ← Nueva Energía
Para aplicaciones especiales, CJan puede evaluar la selección de mangueras y tubos de acuerdo con lo real media, concentración, temperatura, presión, caudal, requisitos de limpieza y condiciones de instalación.
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