Introducción: Desafíos de manejo fluido de CMP en la fabricación de semiconductores

Planarización mecánica química (CMP) is one de los más procesos importantes en fabricación avanzada de semiconductores.

Durante el procesamiento de la CP/RP, el pulido se entrega continuamente a la superficie de la ola para lograr:

• Piso de superficie a nivel de Nanometer
• Tasa de eliminación de materiales
• Rendimiento mejorado de la cintura
• Ejecución del proceso estable

El sistema de entrega de lodos directamente afecta a la calidad del proceso de la CP/RP.

Cualquier fuente de contaminación de los componentes de contacto de fluidos puede influir:

• Defectos superficiales de la ola
• Generación de partículas
• Contaminación de iones de metal
• Congruencia de procesos
• Confiabilidad del dispositivo

Por lo tanto, los fabricantes de equipos semiconductores requieren componentes de control de fluidos de alta pureza con excelente compatibilidad química.

Fondo de Aplicación del Cliente

Perfil del cliente

El cliente se especializa en:

• Equipo de pulido de la CP/RP
• Complete CMP soluciones de procesos
• Sistemas de planificación de superficies de ola

Su equipo se utiliza durante los procesos de fabricación de chips donde la entrega precisa de lodo es esencial.

Aplicación

Sistema de transporte de camiones pulidos de la CP/RP

Mediana

Cerdo de pulido químico

Requisitos principales

El cliente requiere componentes de manejo de fluidos con:

Precipitación de hierro de metal bajo

El material debe minimizar:

• Contaminación metálica
• Ionic release
• Impurezas químicas

Resistencia química

CMP slurry puede contener:

• Partículas abrasivas
• Oxidizers
• Aditivos químicos

El material mojado debe mantener la estabilidad durante el contacto a largo plazo.

Alto rendimiento de la pureza

El sistema requiere:

• Extractos bajos
• Vía de fluido limpia
• Propiedades de material estable

Evaluación de la ingeniería

Por qué la selección de materiales es crítica en los sistemas CMP

Los componentes de metal tradicionales pueden introducir riesgos de contaminación debido a:

• Metal ion release
• Corrosión
• Interacción superficial con los productos químicos

Para la fabricación avanzada de semiconductores, incluso la contaminación por trazas puede afectar la calidad de la ola.

Por lo tanto, los materiales fluoropolímeros son ampliamente considerados para sistemas de entrega química de alta pureza.

Solución recomendada

CJAN High Purity PFA Fluid Handling System

Sobre la base de los requisitos de aplicación, CJAN recomendó:

Valvula de enchufe PFA de alta pureza

Producto:

␟0

Combinado con:

• Tubos PFA de alta pureza
• Accesorios PFA
• Componentes fluoroplasticos

¿Por qué elegir componentes de PFA para aplicaciones de la CP/RP?

1 Excelente resistencia química

PFA proporciona una resistencia excepcional a muchos productos químicos agresivos.

Ventajas:

• Rendimiento químico estable
• Riesgo de corrosión reducido
• Larga vida útil
• Adecuado para entornos semiconductores exigentes

2 bajo riesgo de contaminación por iones de metal

Comparado con componentes de fluido metálico, PFA minimiza las posibles fuentes de contaminación.

Beneficios:

• Liberación de ion de metal reducido
• Pureza mejorada
• Mejor consistencia del proceso

3 Sendero fluido de alta pureza

Los procesos semiconductores requieren una entrega limpia de fluidos.

Los componentes del PFA proporcionan:

• Superficies internas de Smooth
• Baja generación de partículas
• Excelente limpieza
• Rendimiento de contacto de fluido estable

4 Control de válvula fiable

La válvula de conexión PFA proporciona:

• Control de flujo simple
• Estructura compacta
• Resistencia química
• Rendimiento de material compatible con semiconductores

Adecuado para:

• CMP slurry systems
• Equipo de suministro de productos químicos
• Procesos húmedos semiconductores

Valor de la aplicación

Después de adoptar componentes de manipulación de fluidos CJAN PFA, los fabricantes de equipos semiconductores pueden lograr:

Recomendación sobre ingeniería

Para el equipo de pulido de la CP/RP, la selección de materiales de contacto de fluidos no sólo debe considerar la presión y la temperatura.

Los factores críticos incluyen:

• Compatibilidad química
• Pureza material
• Control de contaminación por iones
• Generación de partículas
• Fiabilidad a largo plazo

Para sistemas semiconductores de entrega de lodos de la CP/RP que requieren un alto rendimiento de pureza, CJAN PFA tubing, fitosanitarios y PFA Plug Valve proporcionan una solución fluoropolímero confiable para equipos de fabricación de wafer avanzados.